Herz 电子显微镜减震台 电子显微镜隔震台 电子显微镜
TS150-主动除振台-在原子力显微镜（AFM）中的应用

TS150-主动除振台-在原子力显微镜（AFM）中的应用

发表在 Herz减震台应用方案. 访问量

Turner集团正在使用干涉法测量AFM探头上的偏转。该仪器用于研究用于MEMS应用的纳米材料的粘附性和表面性能。尽管将该仪器放置在一个空气隔离台上，其测量值仍受到环境振动的影响。噪声源包括层流罩，附近建筑，以及实验室的位置（位于大楼的二楼）。在实验室中对TS-150主动除振台进行了测试评估。TS-150有效地消除了令人烦恼的振动，并使研究人员能够继续进行纳米级测量。



应用

·微机电系统（MEMS）

仪器

·使用干涉仪测量定制的AFM探针系统

最终用户

·Turner研究小组，威斯康星大学麦迪逊分校工程学院

隔振系统：

·TS-150主动除振台


结果 - 比较视频

以下视频描述了悬浮在空中的AFM探头。条纹的运动表示影响到探头的环境噪声。在没有隔振装置、空气隔离装置和主动隔振装置的情况下，拍摄探头运动的视频，进行对比。

  

致谢

特纳集团前职员John Nguyen，目前就职于桑迪亚国家实验室 ; 美国威斯康星大学麦迪逊分校机械工程系的Kevin Turner教授


最新动态
Herz-主动隔振系统-解析串行反馈-并行反馈（二）
发表时间：2021-07-14
Herz-主动隔振系统-解析串行反馈-并行反馈（一）
发表时间：2021-07-12
TS-150隔振台在3D纳米制造(微量移液器）的应用
发表时间：2021-06-22
TS150-主动除振台-在原子力显微镜（AFM）中的应用
发表时间：2021-05-14
TS系列-主动式减振台-有效降低测量卡西米尔力时外部振动
发表时间：2021-05-10
TS系列主动减振台在微纳测试中的应用
发表时间：2021-04-09
激光共聚焦显微镜主动减振方案
发表时间：2021-04-09
离子电流测量-SICM + AVI系列主动隔振平台
发表时间：2021-03-31
HERZ-主动隔振技术
发表时间：2021-03-22
HERZ-主动隔振与被动隔振技术简介
发表时间：2021-01-29