消磁器-主动消磁器-主动消磁器SC26

消磁器-主动消磁器-主动消磁器SC26

型号：SC-26

品牌：Spicer Consulting

概述： 消磁器-主动消磁器-主动消磁器SC26是第四代磁场抵消系统，被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场，通常在9kHz。 SC26是SC20Fast系统的升级版，该系统在晶圆厂的安 装数量全世界已超过200台。 SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是产 生一个宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统 并将测量磁场进行数字化处理，但不属于反馈回路。 SC26在电子束设备附件中的参考安装如图4所示。控制 单元未显示。消磁电缆显示为红色、绿色和蓝色。此 参考安装用于指定SC26系统性能。 200kHz "Sensor SC26/AC" (图 6）测量磁场，控制单元 对测量数据进行滤波处理，并以正确的振幅和相位通 过电缆驱动电流，使测量磁场为零。 SC26系统的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制单 元有两个传感器的输入端。它将与一个或两个传感器 工作。当它在两个输入端检测到传感器时，SC26启用 混频器功能。 为了消除直流磁场，有必要通过传感器组合单元为每 个使用的输入端添加一个“传感器SC24/DC+AC”。然 后，SC26将启用直流抵消功能，并在触摸屏上显示直 流磁场。DC消除功能很复杂，但有时是必要的。 SC26无法消除电子束设备附件内的所有磁场。它在磁场传感器周围创建一个区域，大幅度削减磁场。该区域的大小取决于周围磁场的均匀性、磁场电缆的设计 以及电子束设备的金属结构对磁场的扭曲程度！

磁场电缆安装 

大多数半导体电子束设备是在钢架支撑的框架内设 计的。 为了具体说明SC26系统的安装，我们选择了 1.75x1.75x2.0米的典型框架尺寸。 图4 展示了Helmholtz 电缆是如何安装在这个外壳中 的。电缆回路之间的1 米间距是在外壳内产生最佳 均匀场的最佳间距。回路集中在电子束柱上。 刻意不沿着框架边缘连接电缆。设备框架通常采用 焊接或螺栓结构，可形成闭合的导电回路。将电缆连 接到这个回路上会产生一个空心变压器，它可以在 大约100Hz以上的频率时使消除磁场短路。有关此方 面的详细信息，请参阅SC26用户手册。 SC26只能与Spicer Consulting提供的电缆一起使用。 是两芯屏蔽电缆。直径为3.0mm，通常安装在直径 12.5mm的塑料导管中以提供保护。电缆上的箭头标 签必须按所示方向安装。 电缆有9 针D 型连接器，它们连接在一起形成图4 中的两个Helmholtz回路和图5 中的单回路。一根两 芯屏蔽电缆将回路连接到SC26控制单元。 为便于设备的安装和维修，可提供将通过塑料导管 进行安装的带直插式连接器的定制电缆。 图5展示了与以前SC20Fast系统一起使用的单回路电 缆的最小安装。磁场均匀性较差，但可通过仔细选择 传感器位置有效地改善设备性能。是四芯屏蔽电 缆，直径5.0mm。

特点：

 改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场 规格的要求 

实时宽带抵消从DC到＞9kHz的磁场 

 在10μs之内适应磁场幅度和频率变化 

触摸屏智能用户界面，具有自动设定和直流 复位功能 

 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择 不同单位( Tesla或 Gauss)  混合式双传感器，可在EM模块里产生一个 虚拟感应器 

 内置测试场发生器 

具备以太网和USB端口，以供远程操作及监 视

技术参数 

单位                                   mG,  nT,  µT,  selectable 

消磁 

坐标                                  X, Y, Z直角笛卡儿坐标 

消除成份                           X, Y, Z 磁场

动态范围 NOTE 1              5 µT pk-pk  

1. 采用 Sencon 1 或 Sencon 2 

消磁因子                                 20 x  typ. at 9 kHz (参考安装 图 4) 40 x  typ. at                                                  60 Hz 

消噪上限 (1 Hz to 10 kHz)       0.6 nT RMS total 

2. 采用 Sencon 3 or Sencon 4 

周遭直流磁场强度                  ±  200 µT max 

消磁因子                                20 x  typ. at 9 kHz (参考安装 图 4) 200 x  typ. at                                                  60 Hz  & DC 

Cancelling noise limit (DC to 10 kHz)     0.7 nT RMS total 

DC drift NOTE 3                      <  2 nT/ 24 hours  

磁场量测                              

 种类                                       及时磁场量测 AC RMS 或 pk-pk  DC 增量                                                         (Sencon 3 or Sencon 4) 

显示器                                   

 LCD 触摸屏                           详见产品描述

传感器动态范围                      4.2 µT pk-pk 

精度 NOTE 2                         ± 1.0 % of reading ± 1 nT 

 X, Y, Z 实时磁场输出 

刻度                                     10 V/µT (1.0V/mG) 

范围                                     ± 12 Volts 

源电阻                                  2.7 k 

 连接器                                 3 x BNC 

带宽                                     25 Hz - 60 kHz  (Sencon 1 or Sencon 2)

                                            DC - 60 kHz  (Sencon 3 or Sencon 4) 

测试磁场产生器 

正弦波                                 AC 线频率 (50/60Hz) - 线路锁定         

 方波                                   1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000,                                                     5000, 9000 Hz

电源                                  120/240 V 50/60 Hz, 100 VA 

注 1:    动态范围是在额定交流功率输入为120或240伏特RMS时规定的，较低电压 时线性地下降

注 2:    用50 Hz, 1µT RMS 方波磁场校准传感器

注 3.    漂移 (@23°C ±2°C, 2小时预热后) 

电子显微镜客户在选择SC26的同时也会了解防振台。我们用于电子显微镜防振的是AVI系列防振台，比如AVI-200S主动除振台，AVI-200M主动除震台，AVI-200XL主动消振台，AVI-400S主动消震台，AVI-400M主动隔震台，AVI-400XL主动防震台，AVI-600S主动防振模块，AVI-600M主动防振系统，AVI-600XL主动防震系统，配置LFS低频稳定器可以将低频防振扩展到0.5Hz。

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